[发明专利]一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法有效
| 申请号： | 201010022990.0 | 申请日： | 2010-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102129176A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 李煜芝;毛方林;孙刚;段立峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，所述方法包括如下步骤：上载基底，保持工件台Y方向的坐标不变，干涉仪控制工件台沿X方向运动到不同位置，调焦调平后，由干涉仪读取得到各不同位置下的倾斜值，计算得到长条镜Y方向面形引起的不同位置处的倾斜值；保持工件台X方向的坐标不变，干涉仪控制工件台沿Y方向运动到不同位置，调焦调平后，由干涉仪读取得到各不同位置下的倾斜值，计算得到长条镜X方向面形引起的不同位置处的倾斜值；在工件台对应位置处，干涉仪控制工件台位置倾斜时，补偿长条镜Y方向和X方向面形引起的倾斜值，即可消除由长条镜面形引起的倾斜误差。所述方法可解决长条镜面形导致的倾斜偏差，且方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 长条 镜面形 引起 倾斜 误差 方法 | ||
【主权项】：
一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：上载基底到工件台上，保持工件台Y轴方向的坐标不变，干涉仪控制工件台沿着X方向以步长d运动到不同位置(xi，ycons)，由干涉仪读取得到每个不同位置下工件台的倾斜值RxIFM，meas(xi)，所述倾斜值RxIFM，meas(xi)包括工件台的真实倾斜值和长条镜Y方向面形在该位置下引起的倾斜值，计算得到长条镜Y方向面形引起的不同位置处的倾斜值XRX(xi)，其中，xi表示工件台在X方向的坐标，ycons表示工件台在Y方向的坐标；保持工件台X轴方向的坐标不变，干涉仪控制工件台沿着Y方向以步长d运动到不同位置(xcons，yi)，由干涉仪读取得到每个不同位置下的倾斜值RyIFM，meas(yi)，所述倾斜值RyIFM，meas(yi)包括工件台的真实倾斜值和长条镜X方向面形在该位置下引起的倾斜值，计算得到长条镜X方向面形引起的不同位置处的倾斜值YRY(yi)，其中，xcons表示工件台在X方向的坐标，yi表示工件台在Y方向的坐标；在工件台对应位置(xi，yi)处，干涉仪控制工件台位置的倾斜值时，补偿上述得到的长条镜Y方向面形引起的倾斜值XRX(xi)和X方向面形引起的倾斜值YRY(yi)，即可消除由长条镜面形引起的倾斜误差，得到实际工件台倾斜值。
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