[发明专利]一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法有效
| 申请号： | 201010022997.2 | 申请日： | 2010-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101758457A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 汪海波;刘卫丽;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;C02F9/02;C02F1/44;C02F1/42 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法，包括下列步骤：将已使用过的抛光液经过滤膜过滤后收集滤液；将滤液过阳离子交换树脂后，收集流出液；将获得的流出液再过阴离子交换树脂，收集流出液；将获得的流出液作为原料用于配制新的化学机械抛光液，或者将获得的流出液浓缩后作为原料用于配制新的化学机械抛光液。本发明的方法磨料回收率高，环保且节省资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 回收 重复 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法，包括下列步骤：1)将已使用过的抛光液经过滤膜过滤后收集滤液；2)将滤液过阳离子交换树脂后，收集流出液；3)将步骤2获得的流出液再过阴离子交换树脂，收集流出液；4)将步骤3获得的流出液作为原料用于配制新的化学机械抛光液，或者将步骤3获得的流出液浓缩后作为原料用于配制新的化学机械抛光液。
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