[发明专利]一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法

摘要

本发明公开了一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，涉及光学仪器领域。待胶合空间外差干涉仪竖直放置于胶合装调机构的透明平台上，由激光器输出的激光经积分球漫反射形成均匀面光源，入射至准直系统形成平行光，入射待胶合空间外差干涉仪上。在待胶合空间外差干涉仪出射端形成干涉条纹，最终经成像系统后由CCD接收干涉条纹，并在计算机上实时显示。计算特定波长光源λ0经干涉系统后在CCD整个像面宽度w1上，形成fx个干涉条纹。在待胶合空间外差干涉仪上均匀地涂覆光敏胶，微量调整两臂光栅倾角α和β，读取CCD整幅像面内的干涉条纹f变化到fx时止，使两光栅定位，固化被胶合的两光栅。本发明解决了空间外差干涉仪胶合过程中光栅倾角难以准确控制的技术问题。本发明两臂光栅倾角误差可控制在2.5″以内。

主权项

一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，将待胶合的空间外差干涉仪两臂端的光栅放置于透明平台上，所述空间外差干涉仪的一个臂端光栅的光轴为水平方向，另一臂端光栅的光轴为竖直方向，所述透明平台为L形平台，所述空间外差干涉仪光轴为水平方向的臂端的光栅放置于透明平台呈大地水平状态的台面上，光轴沿竖直方向的臂端的光栅靠在所述L形透明平台的侧壁上，所述空间外差干涉仪两臂端的光栅倾角可调，设置有激光器、积分球、准直系统，所述激光器对准积分球入光口，所述积分球、准直系统的光轴与所述空间外差干涉仪光轴为竖直方向臂端光栅的光轴重合，还设置有与计算机连接的CCD、成像系统，所述CCD、成像系统的光轴与所述空间外差干涉仪光轴呈水平方向的臂端光栅的光轴重合；其特征在于：包括以下步骤：(1)在待胶合的空间外差干涉仪两臂端光栅的胶合面上均匀的涂覆光学胶；(2)控制激光器向积分球发出激光，激光器输出的激光经积分球漫反射后形成均匀面光源，再经准直系统中的准直光路准之后，形成平行光出射，所述平行光入射至待胶合的空间外差干涉仪，被空间外差干涉仪内部的分束器分束至空间外差干涉仪两臂端的光栅上，最后从空间外差干涉仪的出射端出射；(3)待胶合的空间外差干涉仪出射端的出射光经成像系统之后形成干涉条纹，控制CCD接收光学干涉条纹，并在CCD连接的计算机的显示屏上实时显示出干涉条纹；(4)进行理论计算，在波数为σ的单色激光入射的情况下，在所述CCD整幅像面宽度w上，所形成的干涉条纹数fx的理论值从如下计算公式得到： fx＝2σsinγ·w≈4(σ-σ0)tanθl·w其中，σ为入射光波数，σ0为系统littrow波数即系统基频，θl为系统littrow入射角，γ为光束出射角相差角度；(5)控制空间外差干涉仪两臂端，使空间外差干涉仪两臂端尚未胶合固化的光栅分别作微量的倾角偏移，在计算机中读取此时CCD整幅像面上的干涉条纹数f，继续调整直空间外差干涉仪两臂端光栅的倾角，直到干涉条纹数f变化到步骤(4)计算得到的理论值fx时，停止调节，并使两光栅定位；(6)固化空间外差干涉仪两臂端光栅上的光学胶。