[发明专利]一种改善平板显示器感光材料信赖性的方法有效
| 申请号： | 201010100322.5 | 申请日： | 2010-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101762989A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 林荣丰;詹国华;韩荣敏;滕术军;王载忠;王金科 | 申请（专利权）人： | 湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 长沙新裕知识产权代理有限公司 43210 | 代理人： | 刘熙 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善平板显示器感光材料信赖性的方法，采用黄光光刻工艺在基板上制作感光材料膜层，包括涂胶、曝光、显影、固化步骤，其特征在于所述涂胶步骤中，形成的感光材料膜层厚为0.5-20μm；曝光步骤中的曝光量至少为250mj/cm2。本发明方法可极大地提高感光材料在基板上的附着性，可增强感光材料的膜层结构，使感光材料能承受高浓度的强酸、强碱等化学药品的腐蚀和长时间高温高湿的沸水蒸煮、急冷急热的环境冲击，具有较好的信赖性(可靠性)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 平板 显示器 感光材料 信赖 方法 | ||
【主权项】：
一种改善平板显示器感光材料信赖性的方法，采用黄光光刻工艺在基板上制作感光材料膜层，包括涂胶、曝光、显影、固化步骤，其特征在于所述涂胶步骤中，形成的感光材料膜层厚度为0.5-20um；所述曝光步骤中的曝光量至少为250mj/cm2。
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