[发明专利]硅片边缘保护装置及其应用方法有效
| 申请号： | 201010102423.6 | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN102141735A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 吴荣基 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种硅片边缘保护装置及其应用方法，一头安装在固定盘上，另一头安装在三偏心凸轮盘上的气缸水平伸缩摆动，带动安装在固定盘上的三偏心凸轮盘进行圆周运动，通过矢量转换形式使一种直线运动转化为多个等分同步径向运动的方法，从而将直线摆动转化为圆周运动，三偏心凸轮盘带动凸轮盘上的偏心槽绕各自的圆心做圆周运动，将一个圆周运动转化为多个同步偏心运动，三偏心凸轮盘带动偏心槽内的凸轮随动器做径向运动，将多个同步偏心运动转化为同步径向运动，凸轮随动器带动保护爪作径向运动，保护爪将保护环抓起或放下，从而实现保护环或者其他物件的交换。本发明的精度高，可靠性好，重复精度高，结构简单，需要动力源少，同步性高。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 边缘 保护装置 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片边缘保护装置，其特征在于，该装置包含：固定盘(8)；三偏心凸轮盘(9)，其安装在固定盘(8)上，该三偏心凸轮盘(9)上具有若干分布均匀的偏心槽；气缸机构(1)，其一头安装在固定盘(8)上，另一头安装在三偏心凸轮盘(9)上；凸轮随动器(14)，其对应设置在三偏心凸轮盘(9)的偏心槽内；保护环(2)，其安装在固定盘(8)的正下方；保护爪(18)，其安装在凸轮随动器(14)上，并且嵌在固定盘(8)中，该保护爪(18)对保护环(2)具有过载保护功能，且保护爪(18)对固定盘起固定作用；轴承套(11)，其安装在固定盘(8)上，三偏心凸轮盘(9)以轴承套(11)的圆柱面为滑动轴作圆周运动；钢球(10)，其设置在轴承套(11)上，在轴承套(11)和三偏心凸轮盘(9)之间形成一个滑动副，使三偏心凸轮盘(9)能从固定盘上浮起；气缸机构(1)通气后，气缸机构(1)带动三偏心凸轮盘(9)做圆周运动，三偏心凸轮盘(9)带动凸轮随动器(14)作径向运动，凸轮随动器(14)带动保护爪(18)一起做径向运动，将保护环(2)抓起或放下，实现保护环的交换。
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