[发明专利]一种碳/金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201010103838.5 | 申请日： | 2010-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN102140622A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 杨容;曲江兰;郑捷;李星国 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳/金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法，将金属靶置于一反应室中，然后通入一定流量的惰性气体和碳源气体，通过射频溅射制得碳/金属纳米颗粒复合薄膜。在反应过程中，碳源气体分解得到的碳吸附在微小的金属颗粒表面，能够有效地抑制金属颗粒在气相中的团聚，从而得到超微金属颗粒和碳的复合膜。此方法得到的薄膜，金属颗粒尺寸小且分散性良好，是理想的锂离子电池负极材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 纳米 颗粒 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种碳/金属纳米颗粒复合薄膜的制备方法，将金属靶置于一反应室中，然后通入一定流量的惰性气体和碳源气体，通过射频溅射制得碳/金属纳米颗粒复合薄膜。
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