[发明专利]光模块有效
| 申请号： | 201010103967.4 | 申请日： | 2010-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101786592A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 藁科祯久;铃木智史 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光模块(1A)，是由具有支撑基板(10)以及经由绝缘层(12)而被配置于支撑基板10的板面(10a)上的半导体层(14)的SOI基板制作而成的光模块；具备：可动镜(22)，其可以在Y轴方向上移动且在与Y轴方向相交的侧面上形成有镜面22a、光电二极管(32)，其被设置于支撑基板(10)的板面(10a)上并与可动镜(22)的镜面(22a)光互连、帽部件(34)，其被设置于支撑基板(10)的板面(10a)上并气密性地封闭可动镜(22)以及光电二极管(32)、元件用电极部(36)，其贯通支撑基板(10)以及绝缘层(12)且与光电二极管(32)电连接。由此，可以提高包含可动镜的光学系统的气密性并实现小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 | ||
【主权项】：
一种光模块，其特征在于，由具有支撑基板以及经由绝缘层而被配置于所述支撑基板的一个板面上的半导体层的基板制品制作而成，所述光模块具备：可动镜，其包含所述半导体层的一部分，该部分与所述支撑基板之间的所述绝缘层被除去，从而在沿着所述一个板面的规定方向上可以移动，且镜面被形成于与所述规定方向相交的侧面上；光半导体元件，其被设置于所述支撑基板的所述一个板面上并与所述可动镜的所述镜面光互连；帽部件，其被设置于所述支撑基板的所述一个板面上并气密性地封闭所述可动镜以及所述光半导体元件；以及元件用电极部，其贯通所述支撑基板以及所述绝缘层，且与所述光半导体元件电连接。
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