[发明专利]压电/电致伸缩元件及其制造方法无效
申请号: | 201010104715.3 | 申请日: | 2010-01-28 |
公开(公告)号: | CN101794859A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 大西孝生;梅田勇治;后藤直树 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/047;H01L41/24 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种压电/电致伸缩元件,即使压电/电致伸缩层开裂,该元件仍可用作传感器。所提供的压电/电致伸缩元件10具有基板11、固着于基板11上的下部电极层12以及固着于下部电极层12上的压电/电致伸缩层13,并且下部电极层12相对于基板11的覆盖率为98%以下。 | ||
搜索关键词: | 压电 伸缩 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压电/电致伸缩元件,其包括基板、固着于所述基板上的电极层以及固着于所述电极层上的压电/电致伸缩层,其中,所述电极层相对于所述基板的覆盖率为98%以下。
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