[发明专利]一种微测辐射热计及其制备方法无效
| 申请号： | 201010104941.1 | 申请日： | 2010-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN101774530A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 许向东;蒋亚东;周东;杨书兵;王志;王晓梅 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;B82B3/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种微测辐射热计，包括微桥结构，该微桥结构中的热敏电阻材料和红外吸收材料层为碳纳米管-非晶硅复合膜，该碳纳米管-非晶硅复合膜是由一维碳纳米管和两维非晶硅薄膜复合而成，另该微桥结构为三层夹心结构：最底层是非晶氮化硅薄膜，作为微桥的支撑与绝缘材料；中间层是一层或者多层碳纳米管-非晶硅复合膜，其应力与底层氮化硅膜的性质相反，作为微测辐射热计的热敏感层和红外光吸收层；表层是非晶氮化硅薄膜，其应力与中间碳纳米管-非晶硅复合膜的性质相反，作为红外敏感薄膜的钝化层以及应力的调控层。该微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中所存在的缺陷，提高了器件的工作性能，降低了原料成本，适宜大规模产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐射热 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微测辐射热计，包括微桥结构，其特征在于，该微桥结构中的热敏电阻材料和红外吸收材料层为碳纳米管-非晶硅复合膜，该碳纳米管-非晶硅复合膜是由一维碳纳米管和两维非晶硅薄膜复合而成。
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