[发明专利]一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统无效

专利信息
申请号: 201010105399.1 申请日: 2010-02-03
公开(公告)号: CN102140685A 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350002 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。本发明中的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括通气管、密封阀门、密封顶盖、加料室、加料阀门、加料管。真空连续加料系统安装于多晶硅熔炼炉上方,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。
搜索关键词: 一种 用于 多晶 熔炼炉 真空 连续 加料 系统
【主权项】:
一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括密封顶盖、加料室、加料管。其特征在于:密封顶盖设有通气管、密封阀门;加料管上设有加料阀门,与密封顶盖和加料室共同构成密封系统。
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