[发明专利]一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统无效
申请号: | 201010105399.1 | 申请日: | 2010-02-03 |
公开(公告)号: | CN102140685A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 | 申请(专利权)人: | 中国科学院福建物质结构研究所 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350002 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。本发明中的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括通气管、密封阀门、密封顶盖、加料室、加料阀门、加料管。真空连续加料系统安装于多晶硅熔炼炉上方,可以在真空条件或保护气条件下实现不开炉盖连续加料。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 熔炼炉 真空 连续 加料 系统 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括密封顶盖、加料室、加料管。其特征在于:密封顶盖设有通气管、密封阀门;加料管上设有加料阀门,与密封顶盖和加料室共同构成密封系统。
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