[发明专利]涂布机所用托台及控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法无效
申请号: | 201010106401.7 | 申请日: | 2010-02-05 |
公开(公告)号: | CN101804399A | 公开(公告)日: | 2010-08-18 |
发明(设计)人: | 徐大勋 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | B05C13/00 | 分类号: | B05C13/00;B05C5/00;B05C11/00;G02F1/1341 |
代理公司: | 北京市京大律师事务所 11321 | 代理人: | 李光松;盛东生 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供一种涂布机所用托台,包括:板;多个支承杆,设置在板上,在支承杆上安装基板;以及压缩空气供应单元,向基板的下表面供应压缩空气,以支承基板。只有支承杆对托台进行物理支承,可以将在机器人把基板从托台提举起来时发生的静电减至最少。并且,提供一种用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法,包括:移动托台,同时沿托台移动方向的相反方向移动具有喷嘴的涂布头单元。沿相反方向同时移动托台和涂布头单元,使得托台或涂布头单元比其它情况下的托台或涂布头单元移动较短距离。 | ||
搜索关键词: | 涂布机 所用 控制 涂布机中托台 布头 单元 移动 方法 | ||
【主权项】:
一种涂布机所用托台,包括:板;多个支承杆,设置在板上,在支承杆上安装基板;以及压缩空气供应单元,向基板的下表面供应压缩空气,以支承基板。
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