[发明专利]AT切高基频复合压电水晶振动子无效
申请号: | 201010107649.5 | 申请日: | 2010-02-04 |
公开(公告)号: | CN101795121A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 彭常青 | 申请(专利权)人: | 孝昌县晶鑫电子科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17 |
代理公司: | 武汉金堂专利事务所 42212 | 代理人: | 胡清堂 |
地址: | 432900 湖北省孝*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种AT切高基频复合压电水晶振动子,包括:谐振晶片(1)、支撑晶片(2),谐振晶片(1)为经一般研磨的普通单片晶体振动子,谐振晶片(1)和支撑晶片(2)之间以粘接剂相粘合为一个整体,支撑晶片(2)中心用超声波或激光开有镀膜孔(3)。其优点是:谐振晶片与支撑晶片一起进行研磨,有效地解决了研磨中超薄晶片强度不足而无法克服的难题;同时用平面研磨替代光刻蚀或离子刻蚀,摒弃昂贵的刻蚀设备及其维护费用,实现了超薄晶片的批量生产,从而生产成本大幅降低至现有方法的1%-5%。 | ||
搜索关键词: | at 基频 复合 压电 水晶 振动 | ||
【主权项】:
一种AT切高基频复合压电水晶振动子,包括:谐振晶片(1),谐振晶片(1)为经一般研磨的普通单片晶体振动子,其特征在于:还有支撑晶片(2),谐振晶片(1)和支撑晶片(2)之间以粘接剂相粘合为一个整体,支撑晶片(2)中心用超声波或激光开有镀膜孔(3)。
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