[发明专利]平板显示装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种可以使用掩模利用较少的图案化操作制造的平板显示装置及其制造方法，该平板显示装置包括：基底；薄膜晶体管(TFT)的有源层；电容器的第一底电极和第一顶电极；形成在基底上第一绝缘层；与沟道区对应的栅极底电极和栅极顶电极；电容器的第二底电极和第二顶电极；像素底电极和像素顶电极；形成在栅极顶电极、电容器的第二顶电极和像素顶电极上的第二绝缘层；形成在第二绝缘层上的源电极和漏电极。

主权项

一种平板显示装置，所述平板显示装置包括：基底；薄膜晶体管的有源层，包括沟道区、源区和漏区，其中，所述沟道区、所述源区和所述漏区形成在所述基底上的同一层上；电容器的第一底电极和电容器的第一顶电极，所述第一底电极与所述有源层分开，所述第一底电极与所述有源层形成在同一层上，所述第一底电极由与所述有源层的材料相同的材料形成，所述第一顶电极形成在所述第一底电极上；第一绝缘层，形成在所述基底、所述有源层和所述第一顶电极上；栅极底电极和栅极顶电极，顺序地形成在所述第一绝缘层的与所述沟道区对应的部分上；所述电容器的第二底电极和第二顶电极，由与用于形成所述栅极底电极和所述栅极顶电极的材料相同的材料形成，其中，所述第二底电极和所述第二顶电极顺序地形成在所述第一绝缘层的与所述电容器的所述第一顶电极对应的部分上；像素底电极，由与用于形成所述栅极底电极和所述电容器的所述第二底电极的材料相同的材料形成，所述像素底电极形成在所述第一绝缘层上；像素顶电极，由与用于形成所述栅极顶电极和所述电容器的所述第二顶电极的材料相同的材料形成，所述像素顶电极形成在所述像素底电极的顶表面的边缘上以暴露所述像素底电极；第二绝缘层，形成在所述栅极顶电极、所述电容器的所述第二顶电极和所述像素顶电极上，所述第二绝缘层被接触孔和通孔穿透，所述接触孔暴露所述有源层的所述源区和所述漏区，所述通孔部分地暴露所述像素顶电极的边缘；源电极和漏电极，形成所述第二绝缘层上，所述源电极和所述漏电极通过所述接触孔连接到所述源电极和所述漏电极并且通过所述通孔连接到所述像素顶电极。