[发明专利]激光加工方法、激光加工装置以及太阳能电池板制造方法无效
| 申请号： | 201010110155.2 | 申请日： | 2010-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN101811229A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 荒木正树;下田勇一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高科技 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关一种激光加工方法、激光加工装置以及太阳能电池板制造方法。该激光加工装置将激光束分叉为多条激光束，使分叉的多条激光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，由此来对工件实施规定的加工。此时，在激光束的分叉前的光路中配置相位型衍射光学元件机构，以将激光束转换为顶帽形强度分布。转换后的激光束由分叉机构而分别分叉为多条激光束。分叉机构以使转换后的多条激光束照射至工件为止的各光路长度彼此相等的方式来将激光束引导照射至工件。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 装置 以及 太阳能 电池板 制造 | ||
【主权项】：
一种激光加工方法，将激光束分叉为多条激光束，使分叉的多条激光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，由此来对工件实施规定的加工，所述激光加工方法的特征在于：在所述激光束的分叉前的光路中配置相位型衍射光学元件机构，将所述激光束转换为顶帽形强度分布，且以转换后的多条激光束照射至所述工件为止的各光路长度相同的方式，来将所述激光束分叉为多条激光束而对所述工件进行照射。
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