[发明专利]陶瓷基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201010110451.2 | 申请日： | 2010-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN101928156A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 叶昱昕;林泽胜;简仁德 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C04B41/81 | 分类号： | C04B41/81;C04B41/85 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种陶瓷基板及其制造方法。该陶瓷基板，包含一陶瓷主体；以及一平坦缓冲层配置于该陶瓷主体之上，为了维持陶瓷基板的翘曲度＜0.5％，其中该陶瓷主体的热膨胀系数CTEm与该平坦缓冲层的热膨胀系数CTEp符合关系式(1)|CTEm-CTEp|≤3×10-6/℃ 关系式(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种陶瓷基板，包含：一陶瓷主体；以及一平坦缓冲层配置于该陶瓷主体之上，其中该陶瓷主体的热膨胀系数CTEm与该平坦缓冲层的热膨胀系数CTEp符合关系式(1)|CTEm CTEp|≤3×10 6/℃ 关系式(1)；其中该陶瓷基板的翘曲度＜0.5％；该陶瓷主体的软化温度不小于800℃该平坦缓冲层的软化温度不小于500℃。
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