[发明专利]制膜系统及制膜方法有效
| 申请号： | 201010113942.2 | 申请日： | 2010-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN102148304A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 叶政果 | 申请（专利权）人： | 和椿科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种制膜系统及制膜方法，所述制膜系统包括用以容纳液体的容器、用以排除该液体的排水手段、设于该容器内的环型件、设于该容器内且承载至少一基板的承载件以及成膜材料；于制膜过程中，令该承载件位于该液体中，而令该环型件浮于该液体上，当在该液体上形成由纳米球构成的膜状物时，该膜状物位于该环型件的环内，再移除该液体，以令该膜状物配合该环型件下移而形成于该基板上，从而通过该环型件的设置，以避免现有技术中纳米球碰触容器的内壁而易破裂等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种制膜系统，其特征在于，包括：容器，容纳有液体；排水手段，用以排除该液体；环型件，以上下移动自如方式设于该容器内，并浮于该液体上；承载件，设于该容器内的液体中，且该承载件用以承载至少一基板；以及成膜材料，注入于该容器内的液体表面，以形成膜状物，且令该膜状物的边缘接触该环型件的内径缘。
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