[发明专利]固态成像器件及其制造方法、和成像装置

摘要

本发明涉及固态成像器件及其制造方法、以及包括该固态成像器件的成像装置。所述固态成像器件包括：从硅层的背面侧接收入射光以对入射光进行光电转换的光电转换部；和朝所述硅层的正面侧输出在所述光电转换部中生成的信号电荷的像素晶体管部，其中在所述硅层的正面侧，在俯视布局上与所述光电转换部重叠的位置处设置有具有内应力的吸杂层。

主权项

一种固态成像器件，包括：从硅层的背面侧接收入射光以对所述入射光进行光电转换的光电转换部；和朝所述硅层的正面侧输出在所述光电转换部中生成的信号电荷的像素晶体管部，其中在所述硅层的正面侧、在其衬底表面中在俯视布局上与所述光电转换部重叠的位置处设置有具有内应力的吸杂层。