[发明专利]氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201010116594.4 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102167278A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 段国韬;罗媛媛;刘广强;张洪文;蔡伟平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B82B1/00;B81C1/00;B82B3/00 |
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| 地址： | 230031*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法。薄膜为衬底上置有有序六方排列的单层球阵列，其中的球由介质球及其外表面依次覆有的金膜和氧化锌纳米棒/锥构成，其中，介质球的外直径为1～30μm、金膜的厚度为5～50nm，氧化锌纳米棒/锥的棒/锥轴线垂直于球心，棒/锥长为200～800nm、棒/锥直径为80～160nm、锥的锥度为3～30度；方法为先将其上带有单层晶体模板的衬底置于压力为5～10Pa下离子溅射沉积金膜，得到金膜球阵列，再将金膜球阵列置于温度为60～80℃下的氧化锌电解液中，于沉积电流密度为-0.3～-2.0mA/cm2下采用三电极法电沉积30min～4h，制得氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜。薄膜可广泛地用于光电子器件、表面微流体、传感器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 复合 结构 阵列 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜，包括衬底上置有的有序六方排列的单层球阵列，其特征在于：所述球阵列中的球由介质球及其外表面依次覆有的金膜和氧化锌纳米棒/锥构成，其中，介质球的外直径为1～30μm、金膜的厚度为5～50nm、氧化锌纳米棒/锥的厚度为200～800nm；所述氧化锌纳米棒/锥的棒/锥轴线与所述球的球心相垂直，其棒/锥长为200～800nm、棒/锥直径为80～160nm、锥的锥度为3～30度。
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