[发明专利]表面活化处理装置

摘要

本发明提供一种表面活化处理装置，其包括外壳、反应装置及封闭装置；外壳包括内侧壁及底壁，基板固设在所述内侧壁上，底壁上开设有轴孔；反应装置一端由底板封闭且从该底板上垂直延伸出转轴，反应装置容置在外壳内且转轴从轴孔内伸出；反应装置包括外筒、内筒及紫外光灯管，外筒和内筒固设于底板上且内筒容置于外筒中，外筒内开设有容置紫外光灯管的灯管孔；外筒与内筒之间形成第一空间，内筒围成第二空间；封闭装置包括封闭第一空间和第二空间且相对外壳转动的盖体，与第一空间连通的第一进气管及与第二空间连通的第二进气管；外筒的侧壁设置有与第一空间连通的第一喷口、与第二空间连通的第二喷口及与紫外光灯管相连通的出光孔。

主权项

一种表面活化处理装置，其用于对基板表面进行活化处理；该表面活化处理装置包括一外壳、一反应装置及一封闭装置；所述外壳包括一内侧壁及一底壁，所述基板固设在所述内侧壁上，所述底壁上开设有一轴孔；所述反应装置一端由一底板封闭且从该底板上垂直延伸出一转轴，该反应装置容置在外壳内且所述转轴从所述轴孔内伸出；该反应装置包括一外筒、一内筒及至少一紫外光灯管，所述外筒和内筒固设于底板上，且内筒容置于外筒内，所述外筒内开设有至少一灯管孔，所述紫外光灯管容置于所述灯管孔内；外筒与内筒之间形成一第一空间，内筒围成一第二空间；所述封闭装置包括封闭第一空间和第二空间且相对外壳转动的盖体，与第一空间相连通的第一进气管及与第二空间相连通的第二进气管；所述外筒的侧壁设置有多个与第一空间连通的第一喷口、与第二空间连通的第二喷口及与紫外光灯管相连通的出光孔。