[发明专利]复合传感器、电子设备有效
| 申请号： | 201010117435.6 | 申请日： | 2010-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101806812A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 押尾政宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P9/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够发挥各传感器元件的特性且抑制长期的特性变动的小型的复合传感器及电子设备。所述复合传感器在封装件(30)形成有压力高的空间(90)与压力低的空间(80)，在压力高的空间(90)配置有加速度传感元件(40)，因此，获得低的Q值，在压力低的空间(80)配置有振动型角速度传感器元件(50)、(60)，因此，获得高的Q值，从而能够充分发挥加速度传感元件(40)及振动型角速度传感器元件(50)、(60)的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
一种复合传感器，其特征在于，具有封装件，所述封装件具备：具有第一气压的第一空间；具有比所述第一气压低的第二气压的第二空间，在所述第一空间配置有加速度传感器元件，在所述第二空间配置有振动型角速度传感器元件，所述第一空间的容积比所述第二空间的容积小。
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