[发明专利]一种背表面电介质钝化的太阳电池及其制备方法

摘要

一种背表面电介质钝化的太阳电池，其背表面的背电场P+(4)为局域分布，其背表面的金属Al电极(5)通过背电场P+(4)与硅局域接触。将P型硅衬底经过制绒、单面扩散、等离子体刻蚀去边，清洗，前表面沉积减反射层，丝网印刷，然后烧结。其特征是，在沉积前表面减反射层之后，在P型硅衬底的背表面沉积Al2O3钝化膜，激光烧蚀Al2O3钝化膜形成金属接触图形，然后丝印前后电极。

主权项

一种背表面电介质钝化的太阳电池，其特征是：所述太阳电池从太阳光照射面，即前表面起向下排列顺序依次为：减反射层(1)、前电极(2)、n+发射极(3)、P型硅区域(4)；太阳电池的非太阳光入射面，即背表面，在P型硅区域4的下面依次为局域背电场P+(5)、金属Al电极(6)、电介质钝化膜Al2O3(7)；所述背电场P+(5)为局域分布(因此称为局域背电场)，所述的背表面的金属Al电极(6)通过局域背电场P+(5)与硅接触。