[发明专利]具有排热结构的垂直结构发光二极管的形成方法有效
| 申请号： | 201010117652.5 | 申请日： | 2010-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN102097542B | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈学龙;枫政国;张简庆华;陈彰和 | 申请（专利权）人： | 华新丽华股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/64 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 施浩 |
| 地址： | 中国台湾桃园县杨*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种具有排热结构的垂直结构发光二极管(LED)的形成方法。本方法包括以下步骤：a)提供蓝宝石基板；b)在蓝宝石基板上制造多个凹部，其深度为p；c)形成具有多个凸部的缓冲层，凸部的深度q小于p，以致当缓冲层的凸部容纳于蓝宝石基板的凹部时，在其间形成多个间隙，以利排热；d)在缓冲层上生长多个发光层，具有形成于发光层和缓冲层间的介质层；e)蚀刻穿透发光层和缓冲层来形成通道，以利排热；f)通过准分子激光剥离(excimerlaser lift-off，LLO)来移除蓝宝石基板；g)粗化介质层；以及h)在粗化的介质层上沉积电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 结构 垂直 发光二极管 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种具有排热结构的垂直结构发光二极管的形成方法，其特征在于，包括以下步骤：a)提供蓝宝石基板；b)在蓝宝石基板上制造多个凹部，其深度为p；c)形成具有多个凸部的缓冲层，凸部的深度q小于p，以致当缓冲层的凸部容纳于蓝宝石基板的凹部时，在其间形成多个间隙，以利排热；d)在缓冲层上生长多个发光层，具有形成于多个发光层和缓冲层间的介质层；e)蚀刻穿透多个发光层和缓冲层来形成通道，以利排热；f)通过准分子激光剥离来移除蓝宝石基板；g)粗化介质层；以及h)在粗化的介质层上沉积电极。
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