[发明专利]紫外激光加工光学传导装置无效
| 申请号： | 201010118079.X | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101844276A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘红英;赵志伟;张孝其 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B23K26/42 | 分类号： | B23K26/42;G02B7/04 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种紫外激光加工光学传导装置，涉及半导体、微电子等器件激光加工设备技术领域。本发明将激光传输机构与图形识别对准机构集成于一体，并设有激光聚焦位置Z向微调机构。采用此装置可以提高激光与图形传输同轴度、激光焦点Z向位置准确度，激光与图形聚焦位置准确度，并可使紫外激光加工过程实现实时监视，其操作简便、准确度高。尤其适用于发光二极管晶片、半导体晶圆、太阳能硅片等材料的激光加工。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 加工 光学 传导 装置 | ||
【主权项】：
紫外激光加工光学传导装置，其特征在于将激光传输机构与激光与图形识别对准机构集成于一体，并设有激光聚焦位置Z向微调机构；激光传输机构的结构为：激光器(1)输出激光，经激光扩束镜(2)扩束，经聚焦镜(6)聚焦，作用于LED晶片(7)的被加工表面；激光与图形识别对准机构的结构为：工件(7)表面图形经光源镜头(11)、光源(12)光照明，经第3转向镜(5)、第4转向镜(10)图形传输、经聚焦镜(6)图形聚焦，传输于CCD摄像头(8)和(9)，使工件(7)表面图形识别并与激光光斑对准；激光聚焦位置Z向微调机构把聚焦镜(6)固定于能够自动移动的精密滑动台溜板(33)上，使聚焦镜(6)在Z向准确移动并定位。
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