[发明专利]电极用钛材及电极用钛材的表面处理方法无效
申请号: | 201010120036.5 | 申请日: | 2010-02-23 |
公开(公告)号: | CN101841049A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 佐藤俊树;铃木顺;伊藤良规;久本淳 | 申请(专利权)人: | 株式会社神户制钢所 |
主分类号: | H01M8/02 | 分类号: | H01M8/02;H01M8/10;C23C28/00;C25D11/26;C23C14/16 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种低成本且导电性、耐腐蚀性、耐氢吸收性优异的电极用钛材及电极用钛材的表面处理方法。所述电极用钛材的特征在于,在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面,具有厚度为3nm以上75nm以下、且层中的氧浓度最大部位的氧和钛的原子浓度比O/Ti为0.3以上1.7以下的氧化钛层,在氧化钛层上,具有厚度为2nm以上的合金层,所述合金层含有选自Au、Pt、Pd中的至少1种贵金属及选自Zr、Nb、Ta、Hf中的至少1种非贵金属,贵金属和非贵金属的含有比例(贵金属∶非贵金属)按原子比计为35∶65~95∶5。另外,电极用钛材的表面处理方法的特征在于,包括氧化钛层形成工序、合金层形成工序和热处理工序。 | ||
搜索关键词: | 电极 用钛材 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种电极用钛材,其特征在于,在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面,具有厚度为3nm以上75nm以下、且层中的氧浓度最大的部位的氧和钛的原子浓度比O/Ti为0.3以上1.7以下的氧化钛层,在所述氧化钛层上具有厚度为2nm以上的合金层,所述合金层含有选自Au、Pt、Pd中的至少1种贵金属及选自Zr、Nb、Ta、Hf中的至少1种非贵金属,所述贵金属和所述非贵金属的含有比例,即贵金属∶非贵金属,按原子比计为35∶65~95∶5。
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