[发明专利]一种用于晶圆磨床的对刀装置无效
| 申请号： | 201010121135.5 | 申请日： | 2010-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101780654A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 朱凯旋;黄国庆;田军 | 申请（专利权）人： | 无锡机床股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/00 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾朝瑞 |
| 地址： | 214061 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明为一种用于晶圆磨床的对刀装置。其能提高对刀的精准度、提高对刀装置的通用性。其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磨床 装置 | ||
【主权项】：
一种用于晶圆磨床的对刀装置，其包括传感器、传感器座，所述传感器座通过侧臂连接连接块，所述连接块连接转动轴，所述转动轴连接下部的驱动机构，所述驱动机构连接于支架，其特征在于：所述传感器座套装于所述侧臂的安装孔内，所述传感器座通过均布的带弹簧的导杆轴向定向于所述侧臂，所述连接块支承于在转动轴的轴向上可调节的轴向调节结构，所述轴向调节机构连接所述转动轴。
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