[发明专利]一种有机单晶晶体管阵列及其制备方法无效
申请号: | 201010122792.1 | 申请日: | 2010-03-05 |
公开(公告)号: | CN101789440A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 曾雄辉;张鹏强;徐科;包峰;黄凯;张锦平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L27/28 | 分类号: | H01L27/28;H01L21/8234 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215125 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明揭示了一种有机单晶晶体管阵列,该晶体管阵列为底栅极底接触结构,自底部朝向上表面依次包括基底的栅极、绝缘层、源漏电极阵列及有机半导体晶体,其特征在于:所述源漏电极阵列表面修饰有诱导晶体生长的石墨烯,有机半导体晶体生长于石墨烯薄膜之上。通过PDMS打印技术与物理气相传输方法相结合,特别是在石墨烯的诱导下在源漏电极阵列及绝缘层表面生长有机半导体单晶。由本发明方法制备所得的有机单晶晶体管阵列,具有单晶排列均匀的优点,且能适用于大多数有机半导体材料,有效克服了传统手工操作有机单晶进而制备大面积晶体管器件的诸多缺陷,促进了有机场效应晶体管的研究应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 晶体管 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种有机单晶晶体管阵列,所述阵列为底栅极底接触结构,自底部朝向上表面依次包括基底的栅极、绝缘层、源漏电极阵列及有机半导体晶体,其特征在于:所述源漏电极阵列表面修饰有诱导晶体生长的石墨烯,有机半导体晶体生长于石墨烯薄膜之上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的