[发明专利]光电倍增管

摘要

本发明涉及一种光电倍增管，以防止电子向倍增极之间的箱体的绝缘部分入射从而改善耐受电压为课题。该光电倍增管(1)具有彼此相对地配置且各自的相对面(20a、40a)由绝缘材料构成的基板(20、40)、与基板(20、40)共同构成箱体的基板(30)、从基板(40)的相对面(40a)上的一端侧向另一端侧依次间隔地排列的倍增极(31a～31j)、从倍增极(31a)向一端侧间隔设置的光电面(22)以及从倍增极(31j)向另一端侧间隔设置的阳极部(32)，基板(20)的相对面(20a)被形成为覆盖倍增极(31a～31j)，在该相对面(20a)上，在与每一个倍增极(31a～31j)相对的部位上，设置有彼此电独立且被设定为与倍增极等电位的多个导电膜(21a～21j)。

主权项

一种光电倍增管，其特征在于，具备：彼此相对地配置且各自的相对面由绝缘材料构成的第1以及第2基板；与第1以及第2基板共同构成箱体的侧壁部；多级电子倍增部，所述多级电子倍增部从所述第1基板的所述相对面上的一端侧向另一端侧依次间隔地排列，且各自具有在与该相对面交叉的方向上延伸的二次电子面；光电面，所述光电面被配置于所述一端侧且与所述电子倍增部相间隔，将来自外部的入射光变换为光电子并释放所述光电子；以及阳极部，所述阳极部被配置于所述另一端侧且与所述电子倍增部相间隔，将被所述电子倍增部倍增的电子作为信号取出，所述第2基板的所述相对面被形成为覆盖所述多个电子倍增部，在该相对面上，在与所述多个电子倍增部的每一个相对的部位上，沿着所述相对面设置有多个导电部件，所述多个导电部件彼此电独立并且被设定为与各自相对的所述电子倍增部等电位。