[发明专利]蒸发源装置无效
| 申请号： | 201010124417.0 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102168249A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李适维;邱振海;黄伟民;林清儒 | 申请（专利权）人： | 绿阳光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李树明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蒸发源装置，以在大面积的基板制作时，提高蒸镀物的均匀性及蒸镀材料的利用率。本发明的蒸发源装置包含一坩锅及一喷嘴盖体。该坩锅系容纳一蒸镀材料，借由加热该坩锅使该蒸镀材料的分子蒸发。而该喷嘴盖体设置于该坩锅的上方，具有一斜孔喷嘴及一直孔喷嘴，该斜孔喷嘴及该直孔连接于该坩锅。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，其包含：一坩锅，其中容纳有一蒸镀材料；以及一喷嘴盖体，卡固于该坩锅的开口处，具有一斜孔喷嘴以及一直孔喷嘴，该斜孔喷嘴及该直孔喷嘴分别连接于该坩锅。
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