[发明专利]涂布装置有效
| 申请号： | 201010124625.0 | 申请日： | 2010-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101846884A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 中泽源伸;堀内展雄 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 田明;任晓航 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种涂布装置，其中，无需增加在异物检测部检测出异物后喷嘴移动至异物的距离，从而能够抑制装置的的大型化。本发明的涂布装置(11)通过行走机构(25)使管头部(22)行走的同时，在载物台(14)上的基板(12)上涂布从管头部(22)的喷嘴(44)处流出的涂布液。而且，涂布装置(11)包括：异物检测部(45，33)，对与喷嘴(44)相比位于靠行走方向前方侧的异物P进行检测；升降控制部(退避控制部)(32)，通过异物检测部(45，33)而检测出异物P时，控制升降机构(24)以使管头部(22)朝向上方退避。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其特征在于，包括：保持台，在水平面上保持基板；涂布部，包括朝向所述保持台上的所述基板流出涂布液的喷嘴；行走机构，使所述涂布部相对于所述保持台在水平方向上行走；升降机构，使所述涂布部在上下方向上升降；异物检测部，在为了在所述基板上涂布涂布液而通过所述行走机构使所述涂布部行走时，检测出位于所述喷嘴的行走方向前方侧的异物；退避控制部，当所述异物检测部检测出异物时，控制所述升降机构以使所述涂布部朝向上方退避。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东丽工程株式会社，未经东丽工程株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010124625.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像形成装置
- 下一篇：显示设备和便携式终端
