[发明专利]一种AlB12纳米/亚微米球形材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种AlB12纳米/亚微米球形材料的制备方法。该方法首先将放有铝源的石英舟和单晶硅片衬底(衬底纯净，放在靠近石英舟的下气流方向)放入管式电炉的石英管中部，密封石英管(合成AlB12纳米/亚微米球形材料的实验装置，如图(1)所示)，同时对石英管预抽真空，然后通入保护和还原气体，再将电炉加热到800-900℃，然后通入硼源，同时调节保护和还原性气体，保持15-60分钟；反应完全后，系统在保护气体和还原性气体的混合气气氛下降温，直至冷却至室温；冷却后，取出Si基片(蒸发位)，衬底上黑色的一层物质即为所制备的样品。铝源为金属铝粉末，硼源为BCl3；还原性气体为H2气，保护气体为Ar气。本发明首次制备出AlB12纳米/亚微米球形材料，试验过程简单，易于操作，便于推广应用。

主权项

一种纳米/亚微米球形AlB12材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤和工艺条件：(1)将铝源和单晶硅片衬底放入管式电炉的石英管中部，密封石英管，同时对石英管预抽真空，然后通入保护和还原气体，其流速为10-100sccm；(2)将步骤(1)的管式电炉加热到800-900℃，然后通入硼源，其流速为10-100sccm；同时调节保护和还原性气体流速为20-200sccm；保持15-60分钟；(3)在保护气体和还原性气体的混合气气氛下降温，直至冷却至室温；(4)取出单晶硅片衬底，其上黑色的一层薄膜即为AlB12纳米/亚微米球形材料。