[发明专利]双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法

摘要

一种双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法，测量装置采取两组不同的光路，分别对不同波长的激光进行能量和光斑大小进行控制，并且通过光路延迟方法来保证双波长激光到达待测样品表面的时间一致性。通过固定选取某一波长λ1激光能量密度的方法来测量λ1和λ2双波长激光同时作用待测样品的损伤阈值，同时采用阈值差比较法来判定不同波长激光在光学薄膜损伤中的贡献。本发明可以得到双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值，并且可以对某一波长激光在损伤中的贡献做出评价。

主权项

一种双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值的测量装置，包括输出波长为λ1的第一激光器(2)和输出波长为λ2的第二激光器(3)，用于准直光路和协助监测光学薄膜损伤破坏的第三激光器(7)，一个位于移动平台(27)上的待测样品(28)，特征在于其构成是：在所述的第一激光器(2)输出的第一激光路(4)上依次设置第一能量衰减器(8)、第一分光镜(20)和第一透镜(12)，波长为λ1的激光辐照在所述的待测样品(28)上，在所述的第一分光镜(20)的反射光路上设置第一能量计(10)，用以测量波长为λ1的激光能量；在所述的第二激光器(3)输出的第二激光路(5)上依次设置光路延时器(6)、第二能量衰减器(9)、第二分光镜(21)和第二透镜(13)，波长为λ2的激光辐照在所述的待测样品(28)上，在所述的第二分光镜(21)的反射光路上设置第二能量计(11)，用以测量波长为λ2的激光能量；在所述的待测样品(28)的表面空间设置CCD在线判断装置(14)，所述的第一激光器(2)、第二激光器(3)、第三激光器(7)、CCD在线判断装置(14)和移动平台(27)通过通信线与计算机(1)连接。