[发明专利]化合物和化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要

本发明公开化合物和化学放大型正性抗蚀剂组合物。本发明提供由式(I)表示的化合物；包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元的聚合物；和，包含所述聚合物、至少一种酸生成剂和至少一种溶剂的化学放大型正性抗蚀剂组合物，在式(I)中，R¹表示氢原子等，R²和R³各自独立地表示氢原子等，R⁴表示C1-C8二价烃基，R⁵表示单键等，并且R⁶表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基。

主权项

1.一种由式(I)表示的化合物：其中R¹表示氢原子，氟原子，C1-C4直链或支链烷基或C1-C4氟化直链或支链烷基，R²和R³各自独立地表示氢原子或C1-C4直链或支链烷基，R⁴表示C1-C8二价烃基，R⁵表示单键，C1-C4二价烃基或羰基，并且R⁶表示未取代或取代的C6-C20芳族烃基。