[发明专利]气浴控温装置及方法无效
| 申请号： | 201010128874.7 | 申请日： | 2010-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN102193565A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 龚岳俊;杨志斌;江家玮;余斌;余小虎 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/00 | 分类号： | G05D23/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种气浴控温装置及方法，所述装置包括：气浴板；进风口，和每个所述气浴板相连；所述气浴控温装置还包括第一气帘和第二气帘，所述第一气帘和所述第二气帘相互垂直放置，且位于所述孔板的同侧。本发明气浴控温装置及方法实现了对精密机械仪器进行控温时，气浴全区域覆盖最大化，另外垂直气浴和水平气浴复合叠加，实现了对分散结构的均匀控温。 | ||
| 搜索关键词： | 气浴控温 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种气浴控温装置，包括：气浴板；进风口，和每个所述气浴板相连；其特征在于：所述气浴控温装置还包括第一气帘和第二气帘，所述第一气帘和所述第二气帘相互垂直放置，且位于所述孔板的同侧。
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