[发明专利]偏光转换装置有效
| 申请号： | 201010128876.6 | 申请日： | 2006-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101866058A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 谷津修;广田弘之;重松幸二;栗田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。 | ||
| 搜索关键词： | 偏光 转换 装置 | ||
【主权项】：
一种偏光转换装置，使用于根据来自光源的光对被照射面进行照明的照明光学装置，其特征在于：具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的可变旋光构件；所述可变旋光构件具有：由具有旋光性的光学材料所形成的第1旋光元件以及由具有旋光性的光学材料所形成的第2旋光元件；所述第1旋光元件与所述第2旋光元件可沿与所述照明光学装置的光轴交叉的方向相对地进行移动。
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