[发明专利]激光直线度干涉仪光路系统

摘要

本发明是一种激光直线度干涉仪光路系统，解决已有直线度干涉仪测量灵敏度低的问题。由激光头(1)、组件(A)、双光楔(11)、双平面反射镜(12)组成。组件(A)由偏振分光镜(6)、反射镜(7)、角锥棱镜(8)、四分之一波片(9)和(10)粘接成一体，双光楔(11)由两个底面相对的上部光楔和下部光楔粘接而成，激光头(1)发出的f1光和f2光在组件(A)分光后分别通过双光楔(11)的上部光楔和下部光楔，垂直射向双平面反射镜(12)的两个反射面并原路返回，被测体连同双光楔(11)沿Y方向移动，当在Z方向产生位移即存在直线度误差时，f1光和f2光产生方向相反的光程差，由此计算得到直线度误差值。本发明测量灵敏度高、结构紧凑、成本低、便于装配。

主权项

激光直线度干涉仪光路系统，其特征在于由激光头(1)，组件(A)、双光楔(11)和双平面反射镜(12)组成，组件(A)由偏振分光镜(6)、反射镜(7)、角锥棱镜(8)、四分之一波片(9)、(10)粘接成一体，其中偏振分光镜(6)由两个直角棱镜沿斜面粘结组成，在直角棱镜的斜面上镀有偏振分光膜，反射镜(7)是一个在斜面镀有消偏振反射膜的直角棱镜，反射镜(7)的斜面与偏振分光镜的直角棱镜的斜面平行，四分之一波片(9)、(10)沿两直角棱镜的直角面粘结成一平面，角锥棱镜(8)的三个角锥面镀有全反射膜，其底面与偏振分光镜(6)的直角棱镜的直角面粘接，四分之一波片(9)的光轴与激光头发出的f2光的偏振方向即S偏振的夹角为45°，四分之一波片(10)的光轴与激光头发出的f1光的偏振方向即P偏振的夹角为45°，双光楔(11)由两个直角面相对的上部光楔和下部光楔粘接而成，上部光楔和下部光楔均为直角三角形，其两个相连为一平面的直角面面向组件(A)的四分之一波片，测量时激光头(1)、组件(A)和双平面反射镜(12)位置固定，双光楔(11)置于组件(A)和双平面反射镜(12)之间，并固定于被测体上，激光头(1)发出的f1光即P偏振光和f2即S偏振在组件(A)的偏振分光镜(6)上按照偏振方向分离，f1光透过偏振分光镜(6)和四分之一波片(10)射向双光楔(11)的下部光楔、f2光在偏振分光镜(6)和反射镜(7)反射后通过四分之一波片(9)射向双光楔(11)的上部光楔，双光楔(11)出射的f1、f2光交叉，并垂直投射到双平面反射镜(12)，当被测体连同双光楔(11)沿水平方向(Y方向)运动时，被测体在竖直方向(Z方向)产生位移(即直线度误差)时，f1、f2光入射到双光楔(11)的位置发生变化而产生光程差，此光程差回射到激光头(1)，由激光直线度干涉仪的电路处理和计算机运算后得到直线度误差。