[发明专利]带有空气净化装置的光照射装置无效
| 申请号： | 201010129556.2 | 申请日： | 2010-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101859070A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 梅本信一;野村彻 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;A61L9/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 杨谦;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够将光照射装置内的空气净化、防止透镜或反射镜等光学部件污染的带有空气净化装置的光照射装置。在具有放射包含紫外线的光的光源(1)和将来自该光源(1)的光反射或透射的光学部件的光学装置中，设置对该光照射装置内的空气进行净化的空气净化装置(20)，将净化后的空气导入光照射装置内。空气净化装置(20)具备紫外线照射部(21)、和使照射了来自紫外线照射部(21)的紫外线的空气(气体)与水接触的水槽(24)，使照射紫外线之后的空气与水接触，将作为光学部件污染的原因的二甲基硫醚(以下称作DMS)等从空气中除去。由此，能够防止光照射装置内的光学部件因硫酸铵等造成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 空气净化 装置 照射 | ||
【主权项】：
一种带有空气净化装置的光照射装置，在具有放射包含紫外线的光的光源和将来自该光源的光反射或透射的光学部件的光照射装置中，设置对该光照射装置内的空气进行净化的空气净化装置，其特征在于，上述空气净化装置具备放射包含紫外线的光的第2光源、和使照射了来自上述光源的紫外线的空气与液体接触的液体槽。
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