[发明专利]光束照射装置

摘要

本发明提供一种通过精度良好地检测目标区域中表示激光的扫描位置的信号而能提高激光的扫描精度的光束照射装置。其中，S/H电路(34)按照每个采样时刻保持输入电压信号，并将保持电压信号输出到减法运算器(35)。减法运算器(35)将从输入电压信号中减去保持电压信号后的减法运算电压信号输出到端子(32b)及比较电路(36)。A/D变换电路(38)与S/H电路(34)中的采样时刻同步地将减法运算电压信号变换为数字信号并输出到PSD处理电路(7)。由此，由于能有效利用A/D变换电路(38)的分辨率，故通过由信号运算电路(7b)基于从A/D变换电路(38)输入的信号生成位置检测信号，从而能提高位置检测信号的精度。

主权项

一种光束照射装置，具备：激光光源，其出射激光；传动装置，其使所述激光在目标区域扫描；伺服光学系统，其发出伺服光并且随着所述传动装置的驱动使所述伺服光的行进方向变化；光检测器，其接受所述伺服光并输出与受光位置相应的检测信号；信号处理部，其基于所述检测信号生成位置检测信号；和控制部，其基于所述位置检测信号，控制所述激光光源和所述传动装置，该光束照射装置的特征在于，所述信号处理部具有：差分取得部，其取得在连续的两个采样时刻采样所述检测信号后的两个采样值的差分；第一A/D变换部，其将所述差分变换为数字信号；和第一运算部，其基于在所述第一A/D变换部中被变换为数字信号后的所述差分，对所述位置检测信号进行运算。