[发明专利]抛光机晶片在线清洗装置无效
| 申请号： | 201010129842.9 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101797714A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;高慧莹;陈学森 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光机晶片在线清洗装置。它包括喷管、台板和摆动气缸，其中，喷管与台板铰接，摆动气缸与台板固定，喷管上固定有水管连杆，气缸杆上固定有气缸连杆，水管连杆和气缸连杆间铰接一中间连杆构成铰链四杆机构。本装置结构简单，操作方便，本装置能及时有效的提高晶片表面抛光的质量，可明显提高抛光片的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光机 晶片 在线 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光机晶片在线清洗装置，其特征在于它包括喷管(18)、台板(15)和摆动气缸(9)，其中，喷管(18)与台板(15)铰接，摆动气缸(9)与台板(15)固定，喷管(18)上固定有水管连杆(17)，气缸杆上固定有气缸连杆(7)，水管连杆(17)和气缸连杆(7)间铰接一中间连杆(16)构成铰链四杆机构。
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