[发明专利]固态图像拾取装置及其制造方法和图像拾取装置

摘要

固态图像拾取装置包括衬底、布线层和波导。衬底提供有由多个像素组成的像素阵列部分，每个像素具有将入射光转换为电信号的光电转换器。布线层包括多条布线和覆盖层压在衬底之上的多条布线的绝缘层。波导将光引导到多个像素的每个光电转换器，波导被形成在布线层中。波导被形成来具有光从其离开波导的波导出口端，使得在由波导引导的光的波长更长时，波导出口端和从波导接收光的光电转换器的表面之间的距离变得更短。

主权项

一种固态图像拾取装置，包括：衬底，提供有由多个像素组成的像素阵列部分，每个像素具有光电转换器，所述光电转换器将入射光转换为电信号；布线层，包括多条布线和覆盖所述多条布线的绝缘层，所述多条布线被层压在所述衬底之上；以及波导，用于将光引导到所述多个像素的光电转换器的每个，所述波导被形成在所述布线层中，所述波导被形成为具有光从其离开所述波导的波导出口端，使得在由所述波导引导的光的波长更长时，所述波导出口端和接收来自所述波导的光的光电转换器的表面之间的距离变得更短。