[发明专利]金和镍的选择蚀刻液无效
| 申请号： | 201010130300.3 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101845630A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 高桥秀树;永岛和明 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 徐江华 |
| 地址： | 日本国东京都中*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供可以用一液蚀刻金和镍共存的材料、进而能够控制金和/或镍的蚀刻速率的蚀刻方法及蚀刻液。在碘系蚀刻液中加入无机酸或在常温为固体的有机酸、和/或有机溶剂，调节各成分的配合比形成蚀刻液，用来蚀刻金和/或镍。 | ||
| 搜索关键词： | 选择 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种对金和镍共存的材料选择性地蚀刻金和/或镍的方法，包括对含有碘化物和碘、以及酸和/或有机溶剂的蚀刻液中的各成分的配合比进行调整。
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