[发明专利]挡板冷却装置

摘要

本发明公开了一种挡板冷却装置，包括连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，挡板通过连接座与旋转轴固定连接，旋转轴位于真空腔体外的端部套设有连接件，连接件与旋转轴枢接并与输入接口固定连接，输入接口与输出接口固定连接，旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成冷却腔，输出管悬于冷却腔内并贯穿旋转轴、连接件、输入接口且与输出接口固定连接，冷却管铺设于挡板上，其输入端与旋转轴连通，输出端与输出管连通，输入接口、冷却腔、冷却管、输出管、输出接口连通形成冷却介质的循环回路，其冷却效果好、附着力强、清洁度高并能降低真空腔体温度、提高膜层形成质量。

主权项

一种挡板冷却装置，适用于与冷却介质配合使用，所述挡板通过旋转轴悬设于提供真空环境的真空腔体内并位于蒸发源与待镀基板之间，所述旋转轴的上端与所述挡板固定连接，所述旋转轴的下端穿过所述真空腔体并与真空腔体外的传动机构固定连接，所述旋转轴与所述真空腔体之间设有动密封组件，所述动密封组件套设于所述旋转轴上并与所述旋转轴枢接，其特征在于，所述挡板冷却装置包括：连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，所述挡板通过所述连接座与所述旋转轴固定连接，所述连接件套设于所述旋转轴位于真空腔体外的端部上，所述连接件的上端与所述旋转轴枢接，所述连接件的下端与所述输入接口固定连接，所述输入接口与所述输出接口固定连接并位于所述连接件与输出接口之间，所述旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿所述旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成所述冷却腔，所述输出管悬于所述冷却腔内并贯穿所述旋转轴、连接件、输入接口，所述输出管位于腔体外的末端与所述输出接口固定连接，所述冷却管铺设于所述挡板上，所述冷却管具有输入端与输出端，所述冷却管的输入端与所述冷却腔连通，所述冷却管的输出端与所述输出管连通，所述输入接口与所述冷却腔连通，所述输出接口与所述输出管连通。