[发明专利]先进工艺控制的方法和装置有效
| 申请号： | 201010136008.2 | 申请日： | 2010-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101840207A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡柏沣;曾衍迪 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 姜燕;邢雪红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种先进工艺控制方法和装置，所述方法包括：将第一变数设定为初始值；将第二变数设定为初始值；在先进工艺控制的控制下，根据第一和第二变数的每一个的函数来操作工具；测量第一和第二参数，其中第一和第二参数是不同的，并且有关于工具的操作；根据第一参数的函数，决定第一变数的新变数值，并根据第二参数的函数与第二变数的目前变数值，计算第二变数的新变数值；以及重复上述操作、测量、决定和计算步骤。本发明的技术方案有益于改善先进工艺控制的效能，并减少先进工艺控制的多重输入间的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 先进 工艺 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种先进工艺控制方法，包括：将一第一变数设定为初始值；将一第二变数设定为初始值；在先进工艺控制的控制下，根据上述第一和第二变数的每一个的函数来操作一工具；测量一第一和第二参数，其中上述第一和第二参数是不同的，并且有关于上述工具的操作；根据上述第一参数的函数，决定上述第一变数的一新变数值，并根据上述第二参数的函数与上述第二变数的一目前变数值，计算上述第二变数的一新变数值；以及重复上述操作、测量、决定和计算步骤。
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