[发明专利]一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置，属于等离子体加工设备技术领域，用以实现射频功率的稳定和有效馈入并能有效防止螺旋波等离子体的跳模现象，其技术方案是：该装置包括外部高压电源、激发螺旋波等离子体的天线、绝缘电介质管、高真空腔体、线圈、辅助线圈，绝缘电介质管和高真空腔体分别设置进气孔和进气控制装置、环形喷嘴和加热器，在外部高压电源和激发螺旋波等离子体的天线之间连接有自激式射频振荡电路。本发明利用自激式振荡方式实现射频电磁场和螺旋波等离子体的耦合，可有效防止螺旋波等离子体的跳模现象，使所产生的螺旋波等离子体更稳定，为螺旋波等离子体的应用开辟了新的发展空间；本发明还具有电路简单、调试放便、造价低廉等优点。

主权项

一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置，它包括外部高压电源(13)、激发螺旋波等离子体的天线(4)、绝缘电介质管(5)、高真空腔体(1)、线圈(2)、辅助线圈(3)，绝缘电介质管和高真空腔体分别设置馈入反应气体的进气孔(8)和进气控制装置(9)、环形喷嘴(7)和加热器(6)，其特征在于：在外部高压电源(13)和激发螺旋波等离子体的天线(4)之间连接有自激振荡电路(10)。