[发明专利]具有减振装置的精密运动平台

摘要

本发明提出一种具有减振装置的精密运动平台。该精密运动平台包括基座、微动台、减振装置、水平向电机和垂向电机。减振装置的个数为三个及三个以上，呈多边形形态放置在基座和微动台之间，用以支撑微动台。水平向电机和垂向电机的个数三个及三个以上，放置在基座和微动台之间，平均分布在一圆周路径上，与减振装置错位放置，用以在水平方向上和垂直方向上主动控制微动台的位置或速度。本发明提出的减振装置的精密运动平台将减振装置与电机分开设计，提高了设计自由度，降低成本。减振装置的结构中应用了空气静压轴承，不需要间隙密封，从而降低制造精度要求，制造成本下降。

主权项

一种具有减振装置的精密运动平台，其特征是，包括：基座；微动台；三个及三个以上减振装置，成多边形形态放置在所述基座和微动台之间，用以支撑所述微动台；三个及三个以上水平向电机，放置在所述基座和微动台之间，平均分布在一圆周路径上，与所述减振装置错位放置，用以在水平方向上主动控制微动台的位置或速度。