[发明专利]生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及立式镀膜装置

摘要

本发明提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的方法，采用大面积金属片作为基片，载片架两面均可挂金属基片，在真空室外的减速机拖动传送机构带动载片架直线行进，载片架连续匀速依次进入连续镀膜室内的磁控溅射靶与相应的溅射腔室内，溅射腔室内两面均布置有磁控溅射靶，可同时对载片架两面的金属基片依次沉积太阳能吸热功能膜中的红外光反射层/吸热功能层/减反射层等膜层。本发明还提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的立式镀膜装置，包括载片架、前真空锁定室、前保持室、前缓冲区、连续镀膜室、后缓冲区、后保持室和后锁定室，生产效率比卧式镀膜装置提高一倍。本发明生产的吸热镀膜板具有吸收率高、发射率低的优点。本发明生产效率高，成本低。

主权项

生产平板太阳能吸热镀膜板的方法，其特征在于以大面积单张金属片作为太阳能镀膜板的基片，在立式镀膜装置上，金属基片挂在由型材或金属板组成的载片架上，载片架能挂一片或多片金属基片，在真空室外的减速机拖动传送机构带动载片架行进，以断续方式被传送机构带动快速进入和通过立式镀膜装置中的前真空锁定室、前保持室后，载片架一架接一架的、连续匀速依次进入到至少有3组磁控溅射靶与相应的溅射腔室的连续镀膜室中，载片架在立式镀膜装置各室的中央部位直线行进，在连续镀膜室的箱体上每组溅射腔室位置上至少在挂在载片架上的基片的一侧布置有磁控溅射靶，能对金属基片依次沉积由金属膜组成的红外光波反射层/至少一组由金属膜或金属介质复合膜与介质膜组成的干涉膜堆/减反射层，或者在基片上依次沉积由金属膜组成的纤外光波反射层/吸热半导体材料膜或金属介质复合材料膜/减反射层，以此在基片上形成太阳能吸收功能膜，连续镀膜室后有后保持室和后真空锁定室，载片架的出片与进片方式相同，也是以断续方式被传送机构带动快速退出和通过后保持室和后真空锁定室，进片、镀膜和出片的具体方法为：外界大气与前真空锁定室之间、前真空锁定室与前保持室之间、前保持室与连续镀膜室之间、连续镀膜室与后保持室之间、后保持室与后真空锁定室之间、后真空锁定室与外界大气之间设有真空阀门，当前后真空锁定室和前后保持室的真空度达到连续镀膜室的镀膜工作真空度1‑9×10‑1Pa，各室与室之间的真空阀门开启让载片架分批次按生产节奏进入连续镀膜室或退出连续镀膜室，前后真空锁定室与大气之间的真空阀门开闭一次进出载片架一架或几架为一批为一个生产节奏，是断续进片方式，而在连续镀膜室中载片架一架或几架为一批均为连续走片方式，基片上形成太阳能吸收功能膜后，载片架快速依次从后保持室和后真空锁定室以断续方式出片，生产出平板太阳能吸热镀膜板。