[发明专利]生产平板太阳能吸热镀膜板的方法及装置

摘要

本发明提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的方法，采用长度方向大于600毫米、宽度方向大于300毫米的大面积单张金属片作为基片，在水平布置的卧式镀膜装置上由减速机经过齿型带或链条拖动的转动辊轴系统来传送基片，随着镀膜装置真空阀门的启闭，基片分批进入卧式镀膜装置，在连续镀膜室中，基片经过按照膜系配置的多个溅射模块，基片从靶位下经过时依次沉积太阳能吸热功能膜中的红外光反射层/吸热功能层/减反射层等膜层。本发明还提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的装置，装置由前真空锁定室、前保持室、连续镀膜室、后保持室和后锁定室组成。本发明生产的吸热镀膜板具有吸收率高、发射率低的优点。本发明生产效率高，成本低。

主权项

生产平板太阳能吸热镀膜板的方法，该方法是以大面积单张金属片作为太阳能镀膜板的基片，基片以断续方式被转动辊轴传送快速进入和通过卧式镀膜装置中的前真空锁定室、前保持室，进入到至少有3组磁控溅射靶与相应的溅射腔室的连续镀膜室中，基片在连续镀膜室内由减速机拖动的水平布置转动辊轴一片接一片的、连续匀速的传送，基片经过磁控溅射靶与相应的溅射腔室，在基片上依次沉积由金属膜组成的红外光波反射层/至少一组由金属膜或金属介质复合膜与介质膜组成的干涉膜堆/减反射层，或者在基片上依次沉积由金属膜组成的红外光波反射层/吸热半导体材料膜或金属介质复合材料膜/减反射层，从而在基片上形成太阳能吸收功能膜，连续镀膜室后有后保持室和后真空锁定室，基片的出片与进片方式相同，也是以断续方式被转动辊轴传送快速退出和通过后保持室和后真空锁定室，进片、镀膜和出片的具体方法为：外界大气与前真空锁定室之间、前真空锁定室与前保持室之间、前保持室与连续镀膜室之间、连续镀膜室与后保持室之间、后保持室与后真空锁定室之间、后真空锁定室与外界大气之间设有真空阀门，当前、后真空锁定室和前、后保持室的真空度达到连续镀膜室的镀膜工作真空度1‑9×10‑1Pa，各室与室之间的真空阀门开启让基片分批次按生产节奏进入连续镀膜室或退出连续镀膜室，前、后真空锁定室与大气之间的真空阀门开闭一次进出镀膜基片一片或一批为一个生产节奏，是断续进片方式，而在连续镀膜室中基片一片或一批均为连续走片方式，基片上形成太阳能吸收功能膜后，被转动辊轴传送快速依次从后保持室和后真空锁定室以断续方式快速出片，生产出平板太阳能吸热镀膜板。