[发明专利]一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法，其步骤是首先制备FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒；自组装含有的FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒的非磁性衬底，采用原子层沉积技术在包含单层FePt/CoPt纳米颗粒点阵的衬底表面生长10～30纳米的无机非磁性基体薄膜保护层；将沉积后的衬底放于管式扩散炉，在90～97％Ar和10～3％H2的还原性气氛中，于600～750℃高温条件下，退火30～90分钟，获得FePt/CoPt铁磁纳米颗粒与氧化物的复合薄膜。本发明可以获得了具有L10相和较好磁性能的有序FePt/CoPt纳米颗粒复合薄膜，其磁矫顽场达到Hc＝5.9kOe。

主权项

一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)首先制备FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒；2)自组装含有的FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒的非磁性衬底，在非磁性衬底上形成六角密堆积的单层FePt/CoPt纳米颗粒的有序点阵；3)将上述衬底放入原子层沉积反应室中，采用原子层沉积技术在包含单层FePt/CoPt纳米颗粒膜的衬底表面生长一层10～30纳米的无机非磁性基体薄膜保护层；4)将沉积有超顺磁相FePt/CoPt纳米颗粒与无机非磁性基体薄膜保护层的衬底放于管式扩散炉中，在90～97％Ar和10～3％H2的还原性气氛中，于600～750℃高温条件下，退火30～90分钟，获得铁磁相FePt/CoPt磁性纳米颗粒复合薄膜。