[发明专利]一种铝钼蚀刻液无效
| 申请号： | 201010139060.3 | 申请日： | 2010-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101792907A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;栾成;邵勇;朱龙 | 申请（专利权）人： | 江阴市江化微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 何军 |
| 地址： | 214423 江苏省江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝钼蚀刻液，其特征是它包括以下重量百分比的组份：磷酸60～80、硝酸1～10、醋酸钠1～10、非离子型表面活性剂聚氧乙烯烷基苯基醚、0.1～0.5、水10～30。本发明具有蚀刻角度和蚀刻量能满足客户要求和提高蚀刻产品优良率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种铝钼蚀刻液，其特征是它包括以下重量百分比的组份磷酸 60～80硝酸 1～10醋酸钠 1～10非离子型表面活性剂聚氧乙烯烷基苯基醚 0.1～0.5水 10～30。
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