[发明专利]一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜及其坩埚元件

摘要

本发明涉及一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜及其坩埚元件，该种薄膜由以下重量百分比的成分组成：多晶La1-xSrxMnO3(x＝0～0.6)99.9～95.1％，La1-yAyCrO3(y＝0～0.6，A＝Ca、Sr或Mg)0.1～4.9％；薄膜系用溶胶凝胶-丝网印刷法制成，并与坩埚、电极组成元件。本发明在La1-xSrxMnO3中加入少量La1-yAyCrO3用于进一步提高薄膜的耐蚀性，另外，膜材料在厚度方向尺度较小，同体材料相比，与环境接触面积更大，对温度的反应也更灵敏，同时薄膜传感器也顺应了传感器小型化、集成化的要求。本发明制备方法具有易于批量化、产业化的显著特点。

主权项

一种测温或电加热用的耐蚀性薄膜，其特征是，它由以下重量百分比的成分组成：多晶La1-xSrxMnO3 99.9～95.1％，La1-yAyCrO3 0.1～4.9％；x＝0～0.6，y＝0～0.6，A＝Ca、Sr或Mg。