[发明专利]用于生产多晶硅的反应器及系统有效
| 申请号： | 201010141882.5 | 申请日： | 2010-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN102134745A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈涵斌;陈其国;钟真武;陈文龙 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周春梅 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于西门子工艺生产棒状多晶硅的反应器，其包括底盘和罩在所述底盘上的筒体，所述底盘上密集地设有多对硅芯座、至少一个进气口和至少一个排气口，硅芯座中心、进气口中心和排气口中心一起在所述底盘上构成中心点阵，所述中心点阵的至少一部分中心点与相邻中心点之间的距离都相等。优选至少一部分中心点的任意相邻的三个中心点构成正三角形。该反应器实现了更密集的硅芯布置，提高了还原炉内热能利用率，实现了更均匀的流场分布，从而提高了每炉的多晶硅产量、改善了产品表面质量，并降低了能耗。本发明还公开了包括上述反应器的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 多晶 反应器 系统 | ||
【主权项】：
一种用于生产多晶硅的反应器，其包括底盘和罩在所述底盘上的筒体，所述底盘上密集地设有多对硅芯座、至少一个进气口和至少一个排气口，硅芯座中心、进气口中心和排气口中心一起在所述底盘上构成中心点阵，其特征在于：所述中心点阵的至少一部分中心点与相邻中心点之间的距离都相等。
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